|
工業(yè)顯微鏡是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開(kāi)發(fā)的。作為高級(jí)顯微鏡用戶(hù)在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其超強(qiáng)性能，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)，可觀察較厚的標(biāo)本。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰，襯度更好。符合人機(jī)工程學(xué)要求的設(shè)計(jì)，使您在工作中感到舒適和放松。
|
技術(shù)規(guī)格
|
|
|
觀察頭
|
30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?span lang=EN-US>50mm-75mm）
|
|
目鏡
|
WF10×/25mm
|
|
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板
|
|
物鏡
|
平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)復(fù)消色差長(zhǎng)工作距離物鏡：5×/0.15/W.D.35mm、
10×/0.28/W.D.35mm、20×/0.40/W.D.20mm、50×/0.55/W.D.13mm
|
|
轉(zhuǎn)換器
|
可調(diào)中心四孔轉(zhuǎn)換器
|
|
平臺(tái)
|
雙層移動(dòng)平臺(tái)
|
|
平臺(tái)尺寸: 190mm×140mm
|
|
移動(dòng)范圍：50mm×40mm
|
|
濾色片
|
插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性）
|
|
調(diào)焦
|
粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦，采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)
微動(dòng)格值0.002mm
|
|
光源
|
帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄，鹵素?zé)?span
lang=EN-US>12V/50W,AC85V-230V，亮度可調(diào)節(jié)
|
|
偏光裝置
|
檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
|
|
檢測(cè)工具
|
0.01mm測(cè)微尺
|
|
可供附件
|
蔡康DS-3000二維測(cè)量軟件
|
|
蔡康DM-3000專(zhuān)業(yè)金相圖像分析軟件
|
|
測(cè)微目鏡
|
|
300萬(wàn)、500萬(wàn)像素?cái)?shù)字?jǐn)z像機(jī)
|
|
鹵素?zé)?span
lang=EN-US>12V/100W
|
|
精密載物臺(tái):X-Y行程25mm×25mm,移動(dòng)精度＜5um,數(shù)顯手輪最小值:0.1um,360°旋轉(zhuǎn)盤(pán)
|
|
攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
|
|
物鏡: 2×
|
|
壓平機(jī)
|
|
彩色1/1.5寸CCD
|
特點(diǎn)說(shuō)明
1． 采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無(wú)限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2． 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無(wú)限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明視野法、偏光法，并在每一觀
察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3． 采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度。
4． WF10×（Φ25）超大視野目鏡。
測(cè)微目鏡：
測(cè)微目鏡是各種光學(xué)測(cè)量?jī)x器的附件，裝配在適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)儀器上，可以作各種用途的測(cè)量。如測(cè)定孔距，各種刻線(xiàn)及鍵槽等的寬度和長(zhǎng)度、金屬表面質(zhì)量、光譜帶寬、纖維織物密度和野外標(biāo)本等，也可以作某些顯微硬度計(jì)的附件來(lái)測(cè)量壓痕及劃痕尺寸。
|
