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1、儀器的主要用途
干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度。儀器配對各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1～0.03微米，用測微目鏡和照相方法來評定▽10～▽14光潔度的表面。
本儀器適用于廠礦企業計量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學研究等單位。

2、儀器技術參數：

測量表面光潔度范圍（表面粗糙度） ▽10～▽14
工作物鏡的數值孔徑		0.65
工作距離		0.5毫米
儀器的視場	目視	φ0.25毫米
	照相	0.21×0.15毫米
儀器的放大倍數	目視	500倍
	照相	168倍
測微目鏡放大倍數		12.5倍
工作臺升程		5毫米
X、Y方向移動范圍		≈10毫米
旋轉運動范圍		360°

3、儀器配套性
1、儀器主體 1臺
2、12.5X測微目鏡 1件
3、狹縫目鏡 1件
4、V型塊 1件
5、6V、5W燈泡 6件
6、可調變壓器 1臺
7、海鷗DFC照相機 1臺
8、快門線 1根
9、試樣夾 1件

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